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　　1、真空泵选型真空泵的作用就是从真空室中抽除气体分子,降低真空室的气体压力,使之达到一定的要求的真空种真空系统能覆盖这不同的真空区段度。概括地讲从大气到极高真空有一个很大的围，至今为止还没有一 个围。因此，为达到不一样产品的工艺指标、工作效率和设备工作寿命要求、要选择不同的真空系统配置。为达到最佳配置，选择真空系统时，应考虑下述各点:确定工作真空围：-首先必须检查确定每一种工艺要求的真空度。因为每一种工艺都有其适应的真空度围，必须认真研究确定之。确定极限真空度-在确定了工艺要求的真空度的基础上检查真空泵系统的极限真空度，因为系统的极限真空度决定了系统的最佳工作真空度。通常来说，系统的极限线、作线%，比前级泵的极限线%。被抽气体种类与抽气量检查确定工艺要求的抽气种类与抽气量。因为如果被抽气体种类与泵液体发生反应，泵系统将被污染。同时一定要考虑确定合适的排气时间与抽气过程中产生的气体量。真空容积检查确定达到一定的要求的真空度所需要的时间、真空管道的流阻与泄漏。考虑达到一定的要求真空度后在一定工艺技术要求条件下维持真空需要的抽气速率。主线)其中：S为真空泵抽气速率(L/s)V为真空室容积(L)t为达到一定的要求线为初始线为要求真空度(Torr)例如：V=500Lt=30sP1=760TorrP2=

　　3、50Torr则：S=2.303V/t Log(P1/P2)=2.303x500/30xLog(760/50)=35.4L/s当然上式只是理论计算结果，还有若干变量因素未考虑进去，如管道流阻、泄漏、过 滤器的流阻、被抽气体温度等。实际上还应当将安全系数考虑在。目前工业中应用最多的是水环式真空泵和旋片式线、真空度、真空容积、主要介质、温度、主要容积类设备。2、真空流入介质及流量、压力、温度、规律。3、抽气量、抽出气体介质、温度。4、真空设备的占地面积、自动化程度、真空管道规格选用线、 真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：线mmHg的真空度，选用的线mmHg 。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强围，如：扩散泵为10-310-7mmHg，在这样宽压强围，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强围为5xi0-45 xi0-6mmHg 。因而，泵的工作点应该选在这个围之，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1 X10-5mmHg 为好。3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合真空泵。由于线、性抽气，因而，有时选用一种泵不能够满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以再一次进行选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁线、分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空 泵时，必须了解到气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应思考在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。7、 真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真空泵， 或者把油蒸气排到室外。8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。9、真空泵的价格、运转及维修费用。这个化工手册有公式的，可以去查下！S=QRT/（P*M）S是抽气率 Q是系统漏气量，放气量。T是温度，P系统压力 M是系统气体分子量！线、玻义尔定律体积V，压强P, P?V =常数（一定质量的气体，当温度不变时，气体的压强与气体的体积成反比。即 P1/P2 = V2/V1 ）2、盖？吕萨克定律当压强P不变时，一定质量的气体，其体积V与绝对温度T成正比：（V1/V2 = T1/T2=常数）当压强不变时，一定质量的气体，温度每升高（或P降低）1C，则它的体积比原来增加（或缩小）1/273。3、查理定律当气体的体积 V保持不变，一定质量的气体，压强P与其他绝对温度 T成正比,即：P1/P2 = T1/T2在一定的体积下，一定质量的气体，温度每升高（或降低）1 C，它的压强比原来增加（或减少）1/273 。4、平均*程：

　　8、入=（5 xiO-3）/P （cm）5、抽速：S = dv/dt （升/秒）或 S= Q/PQ =流量（托 ?升秒）P =压强（托）V=体积（升） t =时间（秒）6、 通导：C= Q/（P2-P1）（升/秒）7、真空抽气时间：对于从大气压到1托抽气时间计算式：t = 8V/S （经验公式）（V为体积，S为抽气速率，通常t在510分钟选择。）8、维持泵选择：S维=S前/109、扩散泵抽速估算：S = 3D2 （D =直径 cm ）10、罗茨泵的前级抽速：S = （0.10.2）S 罗（l/s）11、漏率：Q 漏= V（P2-P1）/（t2-t1）Q漏系统漏率（mmHg ?l/s）V 系统容积（

　　9、I）P1 真空泵停止时系统中压强 （mmHg）P2 真空室经过时间t后达到的压强（mmHg）t 压强从P1升到P2经过的时间（s）12、粗抽泵的抽速选择：S= Q1/P 预（l/s）S=2.3V ?lg（Pa/P 预）/tS-机械泵有效抽速Q1 真空系统漏气率（托？升秒）P预一要达到的预真空度 （托）V 真空系统容积（升）t达到P预时所需要的时间Pa-大气压值（托）13、前级泵抽速选择:排气口压力小于一个大气压的传输泵如扩散泵、油增压泵、罗茨泵、涡轮分子泵等,它们工作时需要前级泵来维持其前级压力小于临界值，选用的前级泵必须能将主泵的最大气体量排走，根据管路中，各截面流量恒等的原则有：PnSg

　　10、 PgS 或 Sg Pgs/PnSg 前级泵的有效抽速（”s） Pn 主泵临界前级压强（最大排气压强）（l/s）Pg 真空室最高工作压强（托）S主泵工作时在Pg时的有效抽速。（l/s）14、扩散泵抽速计算公式：S = Q/P = （K?n）/（P ?t）（升/ 秒）式中：S被试泵的抽气速率（l/s） n 滴管油柱上升格数（格）t油柱上升n格所需要的时间（秒）P 在泵口附近测得的压强（托）K 滴管系数（托？升秒） K = VO?（L/n） ?（Y Ym）+Pa A/t其中VO 滴管和真空胶管的原始容积（升）L 滴管刻度部分的长度（mm）n滴管刻度部分的格数（格）Y0 油的比重（克

　　11、/厘米3）Ym 汞的比重（克/厘米3）Pa 当地大气压强（托）/t 滴管的刻度上的一格的对应的容积（升/格）15、旋片真空泵的几何抽速计算公式：S =n Zn LKv（D2-d2）/（24X104） （l/s）式中：Z为旋片数，n为转速（转/分）,L为泵腔长度，D为泵腔直径，d为转子直径（cm）, Kv为容积利用系数（一般取95 %）。16、O型橡胶槽深 B = 0.7DD为橡胶直径，槽宽 C = 1.6B17、方形橡胶槽深 B = 0.8AA为方形橡胶边长，槽宽C= 1.67B选用真空泵时，必须要格外注意下列事项：1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如：线mmHg的真空度，选用的线mmHg 。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强围，如：扩散泵为10-310-7mmHg，在这样宽压强围，泵的抽速随压强而变化，其稳定的工作压强围为5X10-45 X10-6mmHg 。因而，泵的工作点应该选在这个围之，而不能让它在10-8mmHg下长期工作。又如钛升华泵可以在10-2mmHg下工作，但其工作压强应小于1 X10-5mmHg 为好。3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。4、正确地组合真空泵。由于线、抽气，因而，有时选用一种泵不能够满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速， 但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速,两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。5、真空设备对油污染的要求。若设备严格要求无油时，应该选各种无油泵，如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以再一次进行选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁线、分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀性等。选择真空泵时，必须了解到气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应思考在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器、除尘器等。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可以选无油真 空泵，或者把油蒸气排到室外。8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。9、真空泵的价格、运转及维修费用。水环式真空泵的选择一、泵类型的确定泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。泵工作时，必须要格外注意以下两个方面：尽可能要求在高效区，也就

　　15、是在临界真空度或临界排气压力的区域运行。应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域运行，不仅效率极低，而且工作很在此区域之运行，往往还会发汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的可优先在单级泵中选取。如果真不稳定，易产生振动和噪音。对于真空度较高的真空泵而言, 生汽蚀现象，产生这种现象的明显标志是泵有噪音和振动。 损坏，以致泵无法工作。根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时, 空度或排气压力较高， 单级泵往往不能满足， 或者，要求泵在较高真空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦，可选用两级泵。如果线mmHg以上，可选用水环-大气泵或水环-罗茨线、为抽真空装置。如果只作真空泵用，则选用单作用泵比较好。因为单作用泵的构造简单，容易制造和维 护，且在高真空情况下抗汽蚀性好。如果仅作较大气量的压缩机使用，则选用双作用的泵较为贴切。因为双作用泵的气量大， 体积小，重量轻，径向力能得到自动平衡，轴不容易产生疲劳断裂，泵的常规使用的寿命较长。二、根据系统所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵的型号。 关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照我公司网页面对各种型式的水环式真空泵及 压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型 代号 主要特征极限真空度mmHg工作线/min密圭寸形式

　　17、sk国设计单级水环真空泵，结构相对比较简单、维修方便。目前国主流的低线sk国设计双级水环真空泵，相当于两台SK水环泵串联使用，比较单级水环泵具有真空度高及高真空下抽速较大的特点。目前国主流水环式线BV采用西门子先进的技术，机泵同轴，结构紧密相连，效率高，真空度高，稳定性很高，将逐渐替代 SK、 2SK 系列 0.46m3/min 抽速的水环线采用西门子先进的技术，效率高，真空度高，稳定性很高，将逐渐替代SK、2SK系列 612

　　18、0m3/min 抽速的水环线年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰，主要使用在于老用户。--6501.527盘根SZB50年代苏联技术，效率低，能耗大，80年代初已被淘汰,主要使用在于水泵引水，目前已被SK系列水环泵替代。-.330.66盘根2SY主要使用在于水环压缩机，最大排气压强为0.6MPa-630机械密圭寸2YK结构基本与2SK系列相冋，可以用被抽介质作为工作液，极限真空度随被抽介质的饱合蒸气压而改变。表中极限真空度为工作介质为变压器油时的极限线机械密封本文由泰通泵阀提供：.sttpump./选用真空泵时，必须要格外注意下列事项：1、真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求。如： 线mmHg 的真空度，选用的线mmHg 。通常选择泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级。2、正确地选择真空泵的工作点。每种泵都有一定的工作压强围，如：扩散 泵为10-310-7mmHg ，在这样宽压强围，泵的抽速随压强而变化，其稳定的 工作压强围为510-4510-6mmHg 。因而，泵的工作点应该选在这个围之，而 不能让它在10-8mmHg 下长期工作。

　　20、又如钛升华泵可以在10-2mmHg 下工作， 但其工作压强应小于110-5mmHg 为好。3、真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体 量。4、正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能够满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升 华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，（或二极型非对称阴极溅射离子泵）对氩有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好 的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出 口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。5、真空设备对油污染的要求。若

　　21、设备严格要求无油时，应该选各种无油泵， 如：水环泵、分子筛吸附泵、溅射离子泵、低温泵等。如果要求不严格，可以再一次进行选择有油泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、挡油阱等，也能达到清洁 线、了解被抽气体成分，气体中含不含可凝蒸气，有无颗粒灰尘，有无腐蚀 性等。选择真空泵时，必须了解到气体成分，针对被抽气体选择相应的泵。如果气 体中含有蒸气、颗粒、及腐蚀性气体，应思考在泵的进气口管路上安装辅助设 备，如冷凝器、除尘器等。7、真空泵排出来的油蒸气对环境的影响如何。如果环境不允许有污染，可 以选无油真空泵，或者把油蒸气排到室外。8、真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响。若工艺过程不允

　　22、 许，应选择无振动的泵或者采取防振动措施。9、真空泵的价格、运转及维修费用。水环式真空泵的选择、泵类型的确定泵的类型主要由工作所需的气量、真空度或排气压力而定。泵工作时，必须要格外注意以下两个方面：尽可能要求在高效区，也就是在临界真空度或临界排气压力的区域运行。应避免在最大真空度或最大排气压力附近运行。在此区域运行，不仅效率极低，而且工作很不稳定，易产生振动和噪音。 对于真空度较高的真空泵而言，在此区域之运行，往往还会发生汽蚀现象，产生 这种现象的明显标志是泵有噪音和振动。汽蚀会导致泵体、叶轮等零件的损坏， 以致泵无法工作。根据以上原则，当泵所需的真空度或气体压力不高时， 可优先在单级泵中选 取。如

　　23、果真空度或排气压力较高，单级泵往往不能满足，或者，要求泵在较高真 空度情况下仍有较大气量，即要求性能曲线在较高真空度时较平坦， 可选用两级 泵。如果线mmHg以上，可选用水环大气泵或水环罗茨 真空机组作为抽真空装置。、根据系统所需的气量选择真空泵初步选定了泵的类型之后，对于真空泵，还要根据系统所需的气量来选用泵 的型号。关于真空泵的抽速选择及抽气时间计算可参照我公司网页真空计算公式。面对各种型式的水环式真空泵及压缩机，我们特将其各自特点收集如下，以利于用户选型代母主妾椅点枫限直空度工作真空度抽逋范围畜封孫贰jumH 容mmHgim/ifcin国内谏计毕皴水环頁笠结构向

　　24、单、维修方便目前国内至流的低线蛊粮、机械密新2SK国內设讣双级水环真空泵，相当千两台SK木环泵 串联便用，比较单级*坏泵貝有墓空厦高及高翼-735300-700!.530空下抽逵较丈的特点亠曰蕾團向主流咔环武苴空 泵O采用西门于先进揑木，机泵同轴结整紧鴻 败 率鬲罠空度高，性钢穩定.将逐渐替代氷 2SKC.旷銚3/min柚邃的水环直空泵。-.458.33机械宪封2BE1采用西门子先进技札姬率蔚直空虞高，性能 穩龍.熔邃溉斟弋曬鮎K莖列120/忒沽由

　　25、襪 的木环亘空泵。-400盘根、-640-30Q-S00机械密封5Q年代苏联技术，效率低，能範尢，別年代初已 砺封乱主要应畀予老用户。-SdD-7DG-300-6501.5275(年代苏联拽术，效璋低能耗丈，那年代初已 被淘淘 宅墓应用干水泵引兔 首前己褲SK系列 冰环泵替代。-.330,66盘根SY主要使用在千木环圧缩机，屋主排气压强为0丄粧旨630拭械密封2YK结樹基丰耳2SK系列相朗 可以被抽介质作为-.530机械密封工作液，扱限真空鹰随被抽讣质的飽台蒸气歴而 改变茂中檢眼克空皮曲工柞

　　26、介质曲变屋崙由时 的极限真空度。真空泵一览表名称型号抽气速率L/s极限真空Pa配用功率kW旋片线XD、X单级旋片线 30001.1 30滑阀线H型滑阀线 7102BE1型双级水环式线BV型水环式线S、SK型水环式线SK型水环式线SZ、SK型水环式线YK型水环式线/minFSK型水环式线YL型液环式线JZJ型罗茨、旋片线型罗茨、旋片线真空泵机组JZJS型罗茨、水环线S型罗茨、水环线JZJH型罗茨、滑阀线型水环线表示绝对真空。真空表上的指示值不表示真空度的绝对值，只表示了真空度的相对值。O.OS(1)线 ”表示正一个大气压,“ -0.1”线、本表的刻度示值围，真空度的 绝对值与相对值可用下式换算：P=1 X105 (1- s/0.1 ) P -真空度的绝对值(Pa)S-真空表的刻度示值绝对值例一：表的示值为O,则P=1 X105 (1-O/0.1 ) =1 X105 Pa = 1个大气压 例二：表的示值为0.1，则P=1 X105 (1-0.1/0.1 ) = 0 Pa为绝对真空。(绝对真空是不存在的)例三：表的示值为 0.08，则 P=1 X105 (1-0.08/0.1 ) = 2 X104 Pa本产品的线.1)时的低真空度状态下仍能保障正常工作。产品的真空度主要根据配套真空泵的性能。真空度计量单位换算如下:O.IMpa =1 X105 Pa = 760mmHg = 1个大气压1 乇=ImmHg = .33Pa2 乇=0.00026666Mpa 強67Pa(2)真空表读数可以用直观的数字来显示。但价格相对较昂贵，一般适用于科研单位。用户如有需求，本企业能订货供应。

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